Name: electroceramic-based mems (en Inglés)
Price: 608.66 PEN
Availability: InStock
ISBN: 9780387233109

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portada electroceramic-based mems (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer

Idioma

Inglés

N° páginas

414

ISBN

0387233105

ISBN13

9780387233109

Categorías

Ingeniería electrónica

electroceramic-based mems (en Inglés)

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Reseña del libro "electroceramic-based mems (en Inglés)"

the book is focused on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of mems (microelectromechanical systems) in the large sense, including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications. the book covers major topics and is divided into two parts (a) applications and emerging applications, and (b) materials, fabrication technologies, and functioning issues.

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