Name: Elektrische und mechanische Eigenschaften von mesoporösen Siliziumdioxid-Dünnschichten (en Alemán)
Price: 233.80 PEN
Availability: InStock
Author: Singh, Amit Pratap
ISBN: 9786203402148

portada Elektrische und mechanische Eigenschaften von mesoporösen Siliziumdioxid-Dünnschichten (en Alemán)

Elektrische und mechanische Eigenschaften von mesoporösen Siliziumdioxid-Dünnschichten (en Alemán)

Formato

Libro Físico

Autor

Amit Pratap Singh

Editorial

Verlag Unser Wissen

Idioma

Alemán

N° páginas

120

Encuadernación

Tapa Blanda

Dimensiones

22.9 x 15.2 x 0.7 cm

Peso

0.19 kg.

ISBN13

9786203402148

Categorías

Ingeniería: general

Elektrische und mechanische Eigenschaften von mesoporösen Siliziumdioxid-Dünnschichten (en Alemán)

Amit Pratap Singh (Autor) · Verlag Unser Wissen · Tapa Blanda

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Reseña del libro "Elektrische und mechanische Eigenschaften von mesoporösen Siliziumdioxid-Dünnschichten (en Alemán)"

Dünne Filme aus mesoporösem Siliziumdioxid (MPS) sind attraktiv für die Anwendung als niedrig-κ-Zwischenschichtdielektrikum (ILD) in integrierten Schaltungen. Allerdings sind diese Filme anfällig für Instabilitäten im elektrischen Verhalten aufgrund von Wasseraufnahme und Kupferdiffusion. In dieser Arbeit werden die elektrischen, chemischen und thermischen Instabilitäten, die Cu-Diffusion und die Adhäsion dieser Materialien diskutiert, um ihre Verwendung als zukünftige ILD in Bauelementen zu bewerten und zu ermöglichen. Die thermische Stabilität der funktionellen Gruppen und die Adhäsion dieser Filme mit Cu sind ebenfalls Schlüsselfragen für die Integration dieser Dielektrika in reale Geräte. Wir versuchen hier, diese Fragen für einige wenige Arten von funktionalen MPS-Filmen zu beantworten. Die Porenstruktur ist ein weiterer Schlüsselparameter bei der Definition der mechanischen und elektrischen Leistung von MPS-Filmen. In dieser Arbeit haben wir für die meisten Studien MPS-Filme mit 3D-kubischen Poren verwendet. Unterschiede in den Eigenschaften von MPS-Filmen mit parallel zum Substrat orientierten Poren (2D-hexagonal) und MPS-Filmen mit kubisch geformten Poren (3D-kubisch) werden gegen Ende diskutiert. Zusammenfassend zeigt diese Arbeit Wege auf, die elektrischen und mechanischen Eigenschaften von MPS-Low-κ-Dielektrika für zukünftige Anwendungen ma zuschneidern.